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      外延爐一覽
             ? 筒式外延爐MT7700、MT7811K
             ? RF平板式外延爐
             ? 單片式外延爐
             ? LPE3061&LPE2061 外延爐 

     MT系列外延爐性能   單片式外延爐性能  RF平板式外延爐性能
         ? 良好的表面質量和無滑移線
         ? 爐內厚度均勻性±5%
         ? 爐內電阻均勻性±5%
         ? 過渡區窄
         ? 減壓外延
        ? 良好的厚度和電阻率均勻性
        ? 超強的加工能力
        ? 薄外延加工能力
        ? 8英寸外延片加工能力
        ? 高產出
        ? 過渡區窄
        ? 良好的厚度和電阻率均勻性
        ? 大尺寸和雙腔體設計
        ? 厚外延加工能力
     外延設備一覽    


    MT Barrel


    LPE 2061


    CSD 


    G2 

     
    LPE 3061


    ASM E2000


     外延測試設備

    • 公司具有一套完備先進的外延表征設備,以確保外延片的質量達到客戶的要求。  
        


    MCV530


    SSM495Hg-Probe CV System


    CDE 4-Point Probe


    Surface scan SP1


    QS2200M Accent FTIR


    ADE 9300


    SSM SRP 2000


    Agilent ICP MS7500CS


    OLYMPUS MX50

      
       外延輔助設備
    日產130噸的超純水系統。所產純水電阻率達18.2MΩ,顆粒度和TOC含量極低,達到 國內領先水平。
    美國Verteq公司的清洗設備。結合了超稀化學溶液和先進的兆聲清洗技術,可高效 去除晶片表面的顆粒、痕量金屬和有
    新傲科技采用SIMOX,BONDING,SIMBOND和Smart-Cut四種方法,利用從美國和日本知名設備制造 商進口的先進設備來制備SOI材料, 以確保新傲圓片能夠達到國際半導體標準, 并能夠滿足當今世界主流IC生產線的要求。 依靠美國MT公司強大而持續的技術支持,整合國產化襯底片良好的性價比以及以及新傲自身強大而靈活的加工能力優勢,新傲向客戶提供專業化得外延服務。
    地址:中國上海市嘉定區新徠路200號    電話:+86-21-6952 2599    傳真:+86-21-6952 2221   郵編:201815    網址:www.crmshortlist.com   滬ICP備05048132號-1
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